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日本yutaka-crown压力调节器L12系列L18系列

日本yutaka-crown压力调节器L12系列L18系列

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千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器 L12系列是按照1.25英寸SEMI标准设计的压力调节器。  兼容用

千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器

  • L12系列是按照1.25英寸SEMI标准设计的压力调节器。

  •  兼容用于集成供气系统的 1.125 英寸、1.5 英寸 W 型密封件和 C 型密封件。

  •  阵容包括高流量和真空规格和面密封接头类型。

规格

入口压力Max.0.99MPa
调整压力 (L12/L12H)Max.0.7MPa
(量程规格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa)
调整压力(L12V)范围规格 -0.08 至 0.1 MPa,-0.08 至 0.2 MPa
承受压力1.5MPa(进口侧)
Cv值0.1
工作温度-10 至 +40°C
外部泄漏1×10-11Pa・m3/sec・He(真空法)
大量的约 270g(1.125” SEMI 规格)

外观

[备注] ■ 请注意,每个尺寸如有更改,恕不另行通知。

  • L18H系列是一款1.5英寸符合SEMI标准的块式调压器,专为设备制造商的集成供气系统而设计。此外,作为L18的后继产品,流量特性也得到大幅提升。

  • 阀体焊接接头规格也是节省阀箱空间的理想选择。

  • 与以前的 L18 系列相比,流量大约增加一倍(面对面尺寸相同)

  • 隔膜外密封采用金属密封。

规格

适用气体高纯气体
入口压力0.99MPa以下
调整压力Max.0.7MPa
(量程规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa)
承受压力1.5MPa(进口侧)
Cv值0.1
工作温度-10 至 +40°C
外部泄漏1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
大量的约0.36kg
安装方法用后螺丝安装

外观接头焊接规范



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