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品牌:yutaka-crown
咨询电话:13646204128
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器
yutaka-crown L96系列调压阀是专为半导体工艺制造气体设计的真空调节结构产品。最适用于低蒸气压的气体。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,是具有优良外部泄漏和颗粒性能的产品。
入口压力 | 0.99MPa以下 |
调整压力 | -0.1MPa~0~0.2MPa |
承受压力 | 22.2MPa(进口侧) |
Cv值 | 0.07 |
工作温度 | -10 至 +40°C |
外部泄漏 | 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法) |
内容量 | 5.739 厘米(不包括 3 个压力表和配件) |
大量的 | 约1.6kg |
安装方法 | 背面用螺丝安装(见外图) |
[备注]