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日本yutaka-crown真空调压阀L96系列

日本yutaka-crown真空调压阀L96系列

品牌:yutaka-crown

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千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器,减压阀, 压力调整器

  • yutaka-crown L96系列调压阀是专为半导体工艺制造气体设计的真空调节结构产品。最适用于低蒸气压的气体。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格,是具有优良外部泄漏和颗粒性能的产品。

规格

入口压力0.99MPa以下
调整压力-0.1MPa~0~0.2MPa
承受压力22.2MPa(进口侧)
Cv值0.07
工作温度-10 至 +40°C
外部泄漏1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
内容量5.739 厘米(不包括 3 个压力表和配件)
大量的约1.6kg
安装方法背面用螺丝安装(见外图)

外观

[备注]



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